O método de esterilização conhecido como gás óxido de etileno é realizado em autoclave própria para óxido de etileno. Este processo é classificado como processo físico-químico. Seu mecanismo de eliminação microbiana é conseguido através da alquilação protéica. Os parâmetros utilizados para a realização deste processo são: Temperatura, pressão, tempo, umidade relativa, remoção do ar da câmara interna, concentração do gás, disposição da carga. O tempo utilizado para promover a esterilização por este método é de 3 a 4 horas de exposição mais tempo de aeração variável. Os insumos utilizados neste método são: Embalagens (papel grau cirúrgico, plásticos, papel crepado, polipropileno) energia elétrica, água, óxido de etileno líquido ou gasoso. Este processo é incompatível com Líquidos e materiais que contenham resíduos de cloro. Fatores negativos: Ao final do processo apresenta resíduos tóxicos (etilenocloridrina, etilenoglicol). Fatores positivos: Monitoração: Parâmetros físicos, IQ, IB (Bacillus subtillis)